MEMS คืออะไร? MEMS (ระบบเครื่องกลไฟฟ้าขนาดเล็ก) หมายถึงอุปกรณ์หรือระบบขนาดเล็กที่สามารถผลิตเป็นชุดได้โดยการรวมเครื่องจักรขนาดเล็กแอคชูเอเตอร์ขนาดเล็กการประมวลผลสัญญาณและวงจรควบคุม กระบวนการเตรียมโครงสร้างทางกลขนาดเล็ก ได้แก่ การพิมพ์หิน, การแกะสลักลําแสงไอออน, การแกะสลักสารเคมี, พันธะเวเฟอร์ ฯลฯ ในเวลาเดียวกันอิเล็กโทรดจะถูกเตรียมบนโครงสร้างทางกลสําหรับการควบคุมผ่านเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์
MEMS เป็นระบบไมโครมอเตอร์ชนิดหนึ่ง หลังจากเตรียมโครงสร้างไมโครเมคานิกส์แล้วจะต้องขับเคลื่อนด้วยเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์ กลไกการขับขี่ทั่วไป ได้แก่ แรงดึงดูดไฟฟ้าสถิตแรงแม่เหล็กไฟฟ้าแรงรัดตัวของไฟฟ้าและเทอร์โมคัปเปิล ในบรรดากลไกการขับเคลื่อนทั้งหมดของอุปกรณ์ MEMS โครงสร้างแรงดึงดูดไฟฟ้าสถิตเป็นโครงสร้างที่ใช้งานกันอย่างแพร่หลายมากที่สุดเนื่องจากการเตรียมการที่ง่ายควบคุมง่ายและใช้พลังงานต่ํา
สวิตช์ออปติคัล MEMS คือการแกะสลักเลนส์ไมโครจํานวนหนึ่งบนคริสตัลซิลิกอนและทําให้อาร์เรย์ไมโครมิเรอร์หมุนผ่านการกระทําของแรงไฟฟ้าสถิตหรือแรงแม่เหล็กไฟฟ้าเพื่อเปลี่ยนทิศทางการแพร่กระจายของแสงอินพุตเพื่อให้ตระหนักถึงฟังก์ชั่นการเปิด - ปิดของเส้นทางแสง สวิตช์ออปติคัล MEMS จะสลับเส้นทางคลื่นแสงผ่านข้อมูลการควบคุมภายนอกและระดับสูงและต่ําที่สอดคล้องกันเพื่อควบคุมว่าเลนส์ไมโครภายในจะถูกยกขึ้นหรือไม่
