ما هو MEMS؟ يشير MEMS (النظام الكهروميكانيكي الصغير) إلى الأجهزة أو الأنظمة الصغيرة التي يمكن تصنيعها دفعة واحدة من خلال دمج الآلات الصغيرة والمحرك الصغير ومعالجة الإشارات ودائرة التحكم. تشتمل عملية تحضير الهيكل الميكانيكي الجزئي على الطباعة الحجرية ، وحفر الحزمة الأيونية ، والنقش الكيميائي ، وربط الرقاقة ، وما إلى ذلك ، وفي الوقت نفسه ، يتم تحضير الأقطاب الكهربائية على الهيكل الميكانيكي للتحكم من خلال التكنولوجيا الإلكترونية.
MEMS هو نوع من نظام المحركات الدقيقة. بعد إعداد الهيكل الميكانيكي الدقيق ، يجب أن يكون مدفوعا بالتكنولوجيا الإلكترونية. تشمل آليات القيادة النموذجية الجذب الكهروستاتيكي والقوة الكهرومغناطيسية والتضيق الكهربائي والمزدوج الحراري. من بين جميع آليات القيادة لأجهزة MEMS ، يعد هيكل الجذب الكهروستاتيكي هو الأكثر استخداما بسبب إعداده البسيط والتحكم السهل واستهلاكه المنخفض للطاقة.
التبديل البصري MEMS هو نحت عدد من العدسات الدقيقة على بلورة السيليكون ، وجعل مصفوفة المرآة الصغيرة تدور من خلال عمل القوة الكهروستاتيكية أو القوة الكهرومغناطيسية ، وذلك لتغيير اتجاه انتشار ضوء الإدخال لتحقيق وظيفة تشغيل وإيقاف المسار البصري. يقوم المفتاح البصري MEMS بتبديل مسار الموجة الضوئية من خلال معلومات التحكم الخارجية والمستوى المرتفع والمنخفض المقابل للتحكم في ما إذا كانت العدسة الدقيقة الداخلية مرفوعة أم لا.
