สวิตช์ออปติคัล MEMS เป็นสวิตช์ไมโครออปติคัลที่ทําจากวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งโดยทั่วไปจะใช้เป็นไมโครมิเรอร์แบบเคลื่อนย้ายได้ซึ่งสามารถเบี่ยงเบนสัญญาณออปติคัลจากเส้นใยอินพุตไปยังเอาต์พุต มีข้อดีคือกะทัดรัด น้ําหนักเบา และขยายง่าย นอกจากนี้ยังมีข้อดีของทั้งสวิตช์ออปติคัลเชิงกลและสวิตช์ออปติคัลไกด์คลื่น เนื่องจาก EMES รวมการรวมระบบไฟฟ้า เครื่องกล และแสงโดยรวม จึงสามารถส่งอัตราค่าบริการทางธุรกิจที่แตกต่างกันได้ สวิตช์ MEMS มีความสามารถในการปรับขนาดที่ดี อาร์เรย์สองมิติที่มีขนาด 32×32 มีอยู่แล้วและสามารถใช้เป็นหน่วยการสร้างพื้นฐานในสถาปัตยกรรมขั้นตอนเดียวเพื่อปรับขนาดได้ถึง 256 พอร์ต
