สวิตช์ออปติคอล MEMS เป็นสวิตช์ไมโครออปติคอลที่ทําจากวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งโดยทั่วไปจะใช้เป็นกระจกขนาดเล็กที่สามารถเคลื่อนย้ายได้ซึ่งสามารถเบี่ยงเบนสัญญาณออปติคอลจากอินพุตไปยังเส้นใยเอาต์พุต มันโอบกอดข้อดีเป็นขนาดกะทัดรัด, น้ําหนักเบาและง่ายต่อการขยายของ นอกจากนี้ยังแบ่งปันข้อดีของทั้งสวิตช์ออปติคอลเชิงกลและสวิตช์ออปติคอลคู่มือคลื่น เนื่องจาก EMES รวมการรวมระบบไฟฟ้าเครื่องกลและแสงโดยรวมจึงสามารถส่งอัตราที่แตกต่างกันและบริการทางธุรกิจที่แตกต่างกัน สวิตช์ MEMS มีความสามารถในการปรับขนาดที่ดี อาร์เรย์สองมิติที่มีขนาด 32×32 มีอยู่แล้วและสามารถใช้เป็นแบบเอกสารสําเร็จรูปพื้นฐานในสถาปัตยกรรมแบบขั้นตอนเดียวเพื่อปรับขนาดได้ถึง 256 พอร์ต
